产品概述

原理：

白光干涉

主要功能：方便、快捷、准确测试各种表面粗糙度，观察和分析表面结构及形貌。

特点：

1. 非接触测量。

2. 可直接肉眼观察高对比度真彩色白光干涉图，分析表面结构，形象直观。

3. 相同测试样品对比测试证明测量精度与进口原子力显微镜和Veeco仪器Wyko NT9100相当。粗糙度Ra,RMS,PV20三种数据输出。

4. 不失调仪器，稳定可靠，不论如何搬运、颠簸、拆卸。

5. VC++软件系统，全英文界面，操作方便。

6. 六种被测表面显示方法。

功能1 被测表面反射率从r=4%到100%大范围内,都能获得完善的真彩色白光干涉图, 干涉图质量不亚于国外同类产品。而某些国外著名同类仪器仅当r>80%就被迫停止测试。

功能2 测试各种表面粗糙度，包括：纯金属光滑表面，光学表面，化合物半导体镀膜表面，高分子、聚合物塑料表面，石墨稀薄层表面，精密机械表面，等等。测试范围Ra=0.001μm到0.2 μm。

功能3 使被测表面精密调试到位于主干涉级内，细微颜色差别显示表面粗糙度轮廓。这正是国际杂志上报道用白光干涉检查薄、超薄表面的有效方法。

功能4 用真彩色白光黑色干涉条纹移动，1）恢复膜层与基片的过渡区3D形貌, 2）测试膜层厚度, 3）测试过渡区的上升陡度。

功能5 由干涉条纹判断光学球表面加工质量。

功能6 利用真彩色白光黑色干涉条纹移动, 测量表面疵病的深度、宽度。

功能7 利用压电陶瓷堆PZT纵深多达几十 层扫描，恢复表面3D轮廓形貌。

非球面塑料透镜反射波面五步扫描3D形貌

华东光电子集成器件研究所硅膜50层扫描3D形貌